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ULPA FILTER

≫ 특징 및 적용

1. 입경 0.1~0.13 μm의 분진을 99.999999% 이상 포집할 수 있다.
2. Class 1에서 10까지의 Super Ciean Room에 적용된다.
3. 초 LSI제도공장,Clean Bench,유전자연구,우주항공분야 등에 이용된다. 

≫ 재질 및 사용조건

MEDIAMICRO GLASS FIBER
FRAMEALUMINUM
SEPARATORAL. KRAFT PAPER
SEALANTPOLYRETHANE RESIN
GASKETNEOPRENE RUBBER

≫ 규격 및 효율,압력손실

형식규격(mm)압력손실(mmAq)정격풍량
(CMM)		효율
초기말기0.1~0.12μm
YRU-667610x610x758.5177.8(0.35m/s)
99.9999%
YRU-697610x915x7511.7
YRU-6127610x1220x7515.6
YRU-661610x610x15025.45017(0.84m/s)
99.9999%
YRU-671610x762x15021
YRU-691610x915x15026
YRU-6121610x1220x15034
YRU-667-L610x610x7511
YRU-697-L610x915x7515
YRU-6127-L610x1220x7522
YRU-661-L610x610x15024
YRU-671-L610x762x15028
YRU-691-L610x915x15036
YRU-6121-L610x1220x15048